[实用新型]新型硅片周转架有效
申请号: | 201620544095.8 | 申请日: | 2016-06-07 |
公开(公告)号: | CN205863154U | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 刘宏亮 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型硅片周转架,包括移动架、与移动架通过转轴相转动连接的放置架,转轴的轴心线与铅垂线相平行,移动架的底部转动设置有移动滚轮,放置架的上表面设置有若干组定位结构,定位结构为对称设置于放置架上的L形弹性摩擦块,移动架与放置架之间设置有将两者锁定的联动锁定机构,联动锁定机构包括开设于放置架上的若干锁孔、转动设置于移动架上的驱动轴、一端部固定设置于驱动轴上的若干呈L形的锁定件,锁定件的另一端部具有与锁孔相配合的锁定部,驱动轴的端部固定设置有驱动转盘,驱动转盘上固定设置有操作把手,操作时,可以独立转动放置架进行操作,操作省力。 | ||
搜索关键词: | 新型 硅片 周转 | ||
【主权项】:
一种新型硅片周转架,其特征在于:包括移动架、与所述移动架通过转轴相转动连接的放置架,所述转轴的轴心线与铅垂线相平行,所述移动架的底部转动设置有移动滚轮,所述放置架的上表面设置有若干组定位结构,所述定位结构为对称设置于所述放置架上的L形弹性摩擦块,所述移动架与所述放置架之间设置有将两者锁定的联动锁定机构,所述联动锁定机构包括开设于所述放置架上的若干锁孔、转动设置于所述移动架上的驱动轴、一端部固定设置于所述驱动轴上的若干呈L形的锁定件,所述锁定件的另一端部具有与所述锁孔相配合的锁定部,所述驱动轴的端部固定设置有驱动转盘,所述驱动转盘上固定设置有操作把手。
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