[实用新型]新型硅片周转架有效

专利信息
申请号: 201620544095.8 申请日: 2016-06-07
公开(公告)号: CN205863154U 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 代理人: 刘宏亮
地址: 214400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种新型硅片周转架,包括移动架、与移动架通过转轴相转动连接的放置架,转轴的轴心线与铅垂线相平行,移动架的底部转动设置有移动滚轮,放置架的上表面设置有若干组定位结构,定位结构为对称设置于放置架上的L形弹性摩擦块,移动架与放置架之间设置有将两者锁定的联动锁定机构,联动锁定机构包括开设于放置架上的若干锁孔、转动设置于移动架上的驱动轴、一端部固定设置于驱动轴上的若干呈L形的锁定件,锁定件的另一端部具有与锁孔相配合的锁定部,驱动轴的端部固定设置有驱动转盘,驱动转盘上固定设置有操作把手,操作时,可以独立转动放置架进行操作,操作省力。
搜索关键词: 新型 硅片 周转
【主权项】:
一种新型硅片周转架,其特征在于:包括移动架、与所述移动架通过转轴相转动连接的放置架,所述转轴的轴心线与铅垂线相平行,所述移动架的底部转动设置有移动滚轮,所述放置架的上表面设置有若干组定位结构,所述定位结构为对称设置于所述放置架上的L形弹性摩擦块,所述移动架与所述放置架之间设置有将两者锁定的联动锁定机构,所述联动锁定机构包括开设于所述放置架上的若干锁孔、转动设置于所述移动架上的驱动轴、一端部固定设置于所述驱动轴上的若干呈L形的锁定件,所述锁定件的另一端部具有与所述锁孔相配合的锁定部,所述驱动轴的端部固定设置有驱动转盘,所述驱动转盘上固定设置有操作把手。
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