[实用新型]一种热蒸镀坩埚有效
申请号: | 201620526572.8 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205635762U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 孙力;闫光;尤娟娟;焦志强;王小虎;崔伟 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 汤财宝 |
地址: | 230011 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及OLED显示器件的制造技术领域,提供一种热蒸镀坩埚,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。该方案的热蒸镀坩埚,可以增加不同材料蒸汽的混合区域空间,提高不同材料蒸汽的混合均匀性;此外,还可以解决坩埚分散导致设备空间利用率低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 热蒸镀 坩埚 | ||
【主权项】:
一种热蒸镀坩埚,其特征在于,包括同轴设置的内坩埚和外坩埚;所述内坩埚的喷口与所述外坩埚的喷口位于同一平面上。
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