[实用新型]一种沉积类金刚石膜的传动及夹持装置

摘要

本实用新型提供一种磁过滤真空阴极弧沉积类金刚石膜的装置，该装置能使夹持的工件同时进行均匀公转和自转运动。本实用新型的方案为一种对工件进行镀类金刚石膜时采用装置，具有行星轮系传动机构，中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮，使行星轮的运动是绕固定轴公转和绕回转轴自转的复合运动。行星轮上立杆固定工件。本实用新型具有如下优点：工件同时进行公转和自转的复合运动，确保从发射源溅射的离子均匀注入工件表面，实现工件的镀膜层厚度均匀，附着力高，膜层摩擦系数小的优点。

主权项

一种沉积类金刚石膜的均匀传动装置，其特征在于：包括中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮和立杆，中心轮固定，中心轮的中心有固定轴，固定轴与支承系杆固定连接，固定轴下端安装的齿轮可在电机带动下旋转，并带动支承系杆绕固定轴旋转，回转轴与支承系杆通过固定销固定在一起，行星轮通过轴承安装在回转轴上。