[实用新型]旋转靶驱动装置有效
| 申请号： | 201620490760.X | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208151472U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 谢守荣;余华骏;黄颖;艾发智;梁瑞记 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523141 广东省东莞市麻涌镇新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴；磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔，且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。根据本实用新型提供的旋转靶驱动装置，通过改善旋转靶驱动装置的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况，避免旋转靶及其旋转靶驱动装置受损。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转靶 驱动轴 磁钢 驱动装置 支撑轴 中心轴孔 伸入 本实用新型 支撑座 磁控溅射镀膜设备 溅射镀膜 驱动旋转 支撑轴承 变形的 靶筒 插接 磁撞 内壁 轴向 磨擦 转动 伸出 受损 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；其特征在于：所述旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于所述支撑座的驱动轴、及设置于所述驱动轴内的磁钢支撑轴；所述磁钢支撑轴的一端伸入所述驱动轴的中心轴孔内，所述磁钢支撑轴的另一端伸出所述驱动轴的中心轴孔以连接所述旋转靶；所述磁钢支撑轴轴向长度的3/4以上伸入所述驱动轴的中心轴孔，且伸入所述驱动轴中心轴孔的部分所述磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与所述驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司，未经东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620490760.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：物理气相沉积反应室的上盖自动对正结构
- 下一篇：一种磁场可调的磁控溅射装置
- 同类专利
- 专利分类
