[实用新型]一种多混合结构的软快恢复二极管有效
申请号: | 201620485516.4 | 申请日: | 2016-05-25 |
公开(公告)号: | CN205680688U | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 杨忠武 | 申请(专利权)人: | 上海安微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/868 | 分类号: | H01L29/868;H01L29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型的主要目的为提供一种多混合结构的软快恢复二极管,在N‑/N/N+型硅片上间隔地排列制造出高浓度的P+/N‑结、肖特基结、低浓度的P‑/N‑结。在原MPS结构上,增加了P‑/N‑结构。设定的P‑区浓度在5E12~5E13/cm2,P+区的浓度大于1E14/cm2;P+和P‑区边间距5~35um。减少了工步,降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 混合结构 恢复 二极管 | ||
【主权项】:
一种多混合结构的软快恢复二极管,其结构包括:在N‑/N/N+型硅片上间隔地排列制造出高浓度的P+/N‑结、肖特基结、低浓度的P‑/N‑结。
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