[实用新型]改进型光学镜片真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201620480030.1 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN205662596U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杨嘉嘉;杨文志;陈招燕;程亚丽 | 申请（专利权）人： | 中山市万物文化发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了改进型光学镜片真空镀膜装置，包括：真空镀膜室、高真空阀、低温冷阱、油扩散泵、以及机械真空泵，其特征在于，所述高真空阀设置于所述真空镀膜室的一侧，所述低温冷阱一端与所述高真空阀连接，另一端与所述油扩散泵连接，所述油扩散泵跟所述真空镀膜室和所述机械真空泵之间设有控流检测系统，其用于配合所述机械真空泵控制检测所述真空镀膜室和所述油扩散泵的真空气压。本实用新型通过控流检测系统实现了整个改进型光学镜片真空镀膜装置的连接、控制结构更加简单、紧凑，从而能够大大地降低空间的占用率。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 光学镜片 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
改进型光学镜片真空镀膜装置，包括：真空镀膜室(1)、高真空阀(2)、低温冷阱(3)、油扩散泵(4)、以及机械真空泵(5)，其特征在于，所述高真空阀(2)设置于所述真空镀膜室(1)的一侧，所述低温冷阱(3)一端与所述高真空阀(2)连接，另一端与所述油扩散泵(4)连接，所述油扩散泵(4)跟所述真空镀膜室(1)和所述机械真空泵(5)之间设有控流检测系统(6)，其用于配合所述机械真空泵(5)控制检测所述真空镀膜室(1)和所述油扩散泵(4)的真空气压。
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