[实用新型]基于迈克尔逊干涉测量的激光光斑宽度测量装置

摘要

本实用新型基于迈克尔逊干涉测量的激光光斑宽度测量装置，由按照光路设置的激光器、镜面‑透射反射系统、导轨滑台系统及探测系统构成；镜面‑透射反射测量系统由半透半反镜a，半透半反镜b、平面镜片、全反射镜a、全反射镜b、扩束系统a及扩束系统b构成；导轨滑台系统由导轨底座、滑台、丝杠、步进电机、手动旋钮及刀口构成；探测系统由功率探测器及PIN光电二极管探测器构成。本实用新型基于迈克尔逊干涉测量的激光光斑宽度测量装置，能实现对激光光斑宽度的高精度、快速及自动测量。

主权项

基于迈克尔逊干涉测量的激光光斑宽度测量装置，其特征在于，由按照光路设置的激光器(1)、镜面‑透射反射系统、导轨滑台系统及探测系统构成；所述镜面‑透射反射测量系统由半透半反镜a(2‑1)，半透半反镜b(2‑2)、平面镜片(2‑3)、全反射镜a(2‑4)、全反射镜b(2‑5)、扩束系统a(2‑6)及扩束系统b(2‑7)构成；所述导轨滑台系统由导轨底座(3‑1)、滑台(3‑2)、丝杠(3‑3)、步进电机(3‑4)、手动旋钮(3‑5)及刀口(3‑6)构成；所述探测系统由功率探测器(4‑1)及PIN光电二极管探测器(4‑2)构成。