[实用新型]一种蒸镀材料均匀性调节装置及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620447880.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205576264U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 贾文斌;王欣欣;彭锐;叶志杰;许凯 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 刘悦晗;陈源 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀材料均匀性调节装置，用于调节蒸镀装置的蒸镀均匀性，所述蒸镀装置包括线源、喷嘴和蒸镀基板，所述蒸镀材料均匀性调节装置包括第一调节板，所述第一调节板固定于所述线源上，并水平设置在所述喷嘴和蒸镀基板之间；所述第一调节板上设置有多个第一通孔，且所述第一调节板中间位置的第一通孔的间距大于所述第一调节板周边位置的第一通孔的间距，可以使从喷嘴喷出的蒸镀材料经过第一调节板的第一通孔，均匀扩散并沉积到蒸镀基板上，形成厚度均匀的膜层，从而提高器件显示均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 均匀 调节 装置 真空 | ||
【主权项】：
一种蒸镀材料均匀性调节装置，用于调节蒸镀装置的蒸镀均匀性，所述蒸镀装置包括线源、喷嘴和蒸镀基板，其特征在于，所述蒸镀材料均匀性调节装置包括第一调节板，所述第一调节板固定于所述线源上，并水平设置在所述喷嘴和蒸镀基板之间；所述第一调节板上设置有多个第一通孔，且所述第一调节板中间位置的第一通孔的间距大于所述第一调节板周边位置的第一通孔的间距。
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