[实用新型]一种节能型阴极电弧源有效
| 申请号： | 201620440783.X | 申请日： | 2016-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN205741196U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种节能型阴极电弧源，涉及真空离子镀技术领域，包括调节套、蒸发源、蒸发源座、固定法兰座、直角压板、磁铁座、磁场微调组件和辅助阳级组件，所述蒸发源固定在调节套内，所述调节套通过蒸发源座安装固定在固定法兰座的一侧，所述磁铁座安装在固定法兰座的另一侧并通过直角压板固定，所述磁铁座的内部安装有可在其内滑动的扁平状的永磁体，永磁体的外侧固定有磁场微调组件，所述辅助阳极组件安装在固定法兰座上并位于蒸发源的一侧，所述蒸发源和固定法兰座之间以及磁铁座和固定法兰座之间均安装有绝缘垫，本实用新型的结构设计使得靶材表面燃烧更加均匀，降低了耗材使用成本和电能损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能型 阴极 电弧 | ||
【主权项】：
一种节能型阴极电弧源，其特征在于，包括调节套、蒸发源、蒸发源座、固定法兰座、直角压板、磁铁座、磁场微调组件和辅助阳级组件，所述蒸发源固定在调节套内，所述调节套通过蒸发源座安装固定在固定法兰座的一侧，所述磁铁座安装在固定法兰座的另一侧并通过直角压板固定，所述磁铁座的内部安装有可在其内滑动的扁平状的永磁体，永磁体的外侧固定有磁场微调组件，所述辅助阳极组件安装在固定法兰座上并位于蒸发源的一侧，所述蒸发源和固定法兰座之间以及磁铁座和固定法兰座之间均安装有绝缘垫。
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