[实用新型]一种多晶硅还原炉用电极的测试装置有效
| 申请号： | 201620350165.6 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN205580676U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 阮江海 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;G01R31/12;C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 832012 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。采用本实用新型可降低电极测试成本，降低操作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 用电 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆大全新能源股份有限公司，未经新疆大全新能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620350165.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调节长度的NVH测试用撑套
- 下一篇：一种高精度温度压力表
