[实用新型]一种复合型结终端结构有效
申请号: | 201620322189.0 | 申请日: | 2016-04-18 |
公开(公告)号: | CN205645821U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 焦丹钧;朱瑞;陈晓伦;沈晓东;许柏松;欧应辉;叶新民 | 申请(专利权)人: | 江阴新顺微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;沈国安 |
地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种复合型结终端结构,包括场限环P+掺杂区(1)、有源区主结P+掺杂区(2)、截止环N+掺杂区(3)以及复合型结终端P‑掺杂区(4),上述掺杂区均在硅材料衬底(6)的外延层或者高阻层N‑区(5)内,场限环P+掺杂区(1)位于有源区主结P+掺杂区(2)外侧,两区保持一定的距离,复合型结终端P‑掺杂区(4)位于场限环P+掺杂区(1)的外围,且两者紧密相连,复合型结终端P‑掺杂区(4)的结深小于有源区主结P+掺杂区(2)的结深,截止环N+掺杂区(3)位于芯片最外围,与复合型结终端P‑掺杂区(4)保持一定的距离。本实用新型保证场限环P+掺杂区起到一定的分压作用,减缓场限环电场强度,以提高反向击穿电压典型值。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合型 终端 结构 | ||
【主权项】:
一种复合型结终端结构,其特征在于它包括场限环P+掺杂区(1)、有源区主结P+掺杂区(2)、截止环N+掺杂区(3)以及复合型结终端P‑掺杂区(4),上述掺杂区均在硅材料衬底(6)的外延层或者高阻层N‑区(5)内,所述场限环P+掺杂区(1)位于有源区主结P+掺杂区(2)外侧,两区保持一定的距离,所述复合型结终端P‑掺杂区(4)位于场限环P+掺杂区(1)的外围,且两者紧密相连,复合型结终端P‑掺杂区(4)的结深小于有源区主结P+掺杂区(2)的结深,所述截止环N+掺杂区(3)位于芯片最外围,与复合型结终端P‑掺杂区(4)保持一定的距离。
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