[实用新型]一种新型真空镀膜靶材双电刷结构有效
| 申请号： | 201620283464.2 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205501410U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件、靶材旋转马达和一芯电力贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上通过靶材支撑组件安装有靶材，所述靶材组件的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷，电刷为两个。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型采用了双电刷设计，两个电刷是并联结构，同时都与碳靶接触，使其稳定持续带有负电荷。接触面更广，电荷输出更稳定；并联设计，当一个电刷出现故障时，另一电刷也能正常工作，不影响整体工况；工作更可靠，安全，稳定，降低机器故障和提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 靶材双 电刷 结构 | ||
【主权项】：
一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件、靶材旋转马达和一芯电力贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上通过靶材支撑组件安装有靶材，其特征在于：所述靶材组件的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷，电刷为两个。
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