[实用新型]一种新型扩散炉

摘要

本实用新型涉及一种新型扩散炉。主要解决了现有扩散炉内部空间不能充分利用的问题。炉体设有炉盖，炉体内设有与炉体匹配的固定结构，固定结构包括有固定支架、至少两个硅舟放置架，硅舟放置架整齐有序排列，各硅舟放置架一端通过活动杆固定于固定支架上，另一端与固定支架直接活动连接，活动杆上端连接有连接驱动杆。该新型扩散炉结构设计合理简单，通过设置多层硅舟放置结构，充分利用扩散炉内空间，同时一次完成更多硅片的加工制作，提高扩散炉对硅片加工效率，降低生产成本。

主权项

 一种新型扩散炉，包括炉体（1），所述炉体（1）设有炉盖（3），其特征在于：所述炉体（1）内设有与炉体（1）匹配的固定结构（2），所述固定结构（2）包括有固定支架（4）、至少两个硅舟放置架（5），所述各硅舟放置架（5）一端通过活动杆（6）固定于固定支架（4）上，另一端与固定支架（4）直接活动连接，所述活动杆（6）上端连接有连接驱动杆（7）。