[实用新型]卷对卷溅射系统有效
| 申请号： | 201620267469.6 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN205741204U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 裴钟旿 | 申请（专利权）人： | 美思菲林股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 王宇杨;陈琳琳 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种卷对卷溅射系统，其不仅能够以卷对卷驱动方式，在多样的胶片上实现包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金属镀膜，而且能够稳定地连续生产制品并提供高品质的胶片，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，成膜材料的粒子能够在胶片表面沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 系统 | ||
【主权项】：
一种卷对卷溅射系统，在所述卷对卷溅射系统中，其中，包括：轨道；腔，其固定安装于所述轨道的中央部，能够实现真空状态，使得能够防止胶片的污染及提高膜间粘合力；卷对卷部，其安装得能够在所述轨道上移动，构成得与腔结合及分离，使得在展开胶片并再缠绕的同时，借助于等离子体及离子气体，功能性金属的粒子能够在胶片表面保持既定温度并沉积；磁铁部，其能移动地安装于所述轨道的上部，使得功能性金属在借助于卷对卷部而展开并再缠绕的胶片的表面沉积。
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