[实用新型]智能等离子体蒸发镀膜机

摘要

本申请提供了一种智能等离子体蒸发镀膜机，针对现有真空镀膜机操作复杂、人工成本过高、镀膜质量差异不一的问题，本申请提供的智能等离子体蒸发镀膜机的智能控制装置分别与气体流速控制装置、变频调速装置和镀膜真空室装置连接，通过智能控制装置控制镀膜机的气体进入速度、工装装置的基座转动速率和温度调控，本实用新型的智能等离子体蒸发镀膜机可实现智能化生产、降低生产成本及提高镀膜质量。

主权项

一种智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，包括镀膜装置、工装装置、等离子体源装置、蒸发源装置和智能控制装置；所述镀膜装置包括镀膜真空室装置、气体流速控制装置和泵组；所述工装装置包括行星工件装置和变频调速装置；所述等离子体源装置包括射频等离子体电源装置、匹配箱和射频天线；所述蒸发源装置包括蒸发电源装置、蒸发源电极和加热组件；所述镀膜真空室装置分别与所述气体流速控制装置和所述泵组连接；所述行星工件装置设置在所述镀膜真空室装置内，与所述变频调速装置连接；所述射频等离子体电源装置通过所述镀膜真空室装置的导线与所述行星工件装置连接；所述匹配箱通过所述镀膜真空室装置的导线与所述行星工件装置连接；所述射频天线固装在所述行星工件装置上，至少两个所述蒸发源电极装在所述镀膜真空室体的中间，至少两个所述蒸发源电极之间沿纵向设置有一组水平放置的加热组件，所述加热组件的两端与所述蒸发源电极连接；所述蒸发电源装置与所述蒸发源电极组两端连接；所述智能控制装置分别与所述气体流速控制装置、所述变频调速装置和所述镀膜真空室装置连接。