[实用新型]一种多晶硅还原炉电极

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅还原炉电极，包括电极主体、锥头、喷砂处理层、结构喷涂层、功能喷涂层、绝缘套筒和水冷空腔，所述锥头与电极主体固定连接，所述锥头与石墨座的锥孔配合，所述电极主体上部和锥头外表面设有喷砂处理层，所述喷砂处理层周围设有结构喷涂层，所述结构喷涂层的外表面设有功能喷涂层，该电极表面硬度高，光洁度高，质量好，生产成本低，使用寿命长，对于多晶硅行业的发展有着十分重要的意义。

主权项

一种多晶硅还原炉电极，其特征在于：包括电极主体(1)、锥头(2)、喷砂处理层(3)、结构喷涂层(4)、功能喷涂层(5)、绝缘套筒(6)和水冷空腔(7)，所述锥头(2)与电极主体(1)固定连接，所述锥头(2)与石墨座的锥孔配合，所述电极主体(1)上部和锥头(2)外表面设有喷砂处理层(3)，所述喷砂处理层(3)周围设有结构喷涂层(4)，所述结构喷涂层(4)的外表面设有功能喷涂层(5)，所述电极主体(1)周围穿套有绝缘套筒(6)，所述电极主体(1)的中心设有水冷空腔(7)。