[实用新型]一种AlN热隔离双面结构微热板气体传感器

摘要

一种AlN热隔离双面结构微热板气体传感器，包括AlN陶瓷基片、加热器、加热器焊盘、信号电极、信号电极焊盘、焊盘通孔、梯形热隔离槽、敏感膜，基片正面设置有信号电极、信号电极焊盘、加热器焊盘、敏感膜，信号电极采用叉指电极结构，敏感膜附在信号电极上；基片背面设置有加热器、加热器焊盘、信号电极焊盘，加热器采用蛇形排列结构；基片正面与背面的焊盘通过刻蚀的焊盘通孔相连接；基片中心加热区四周刻蚀有梯形热隔离槽，作用是减少传感器的热量损失。传感器整体尺寸约为3.2mm*3.2mm*0.2mm。本实用新型的气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高等优点，可以作为半导体式Cl₂、NO₂、CH₄等气体传感器。

主权项

一种AlN热隔离双面结构微热板气体传感器，包括：AlN陶瓷基片、加热器、加热器焊盘、信号电极、信号电极焊盘、焊盘通孔、梯形热隔离槽、敏感膜，在所述的AlN陶瓷基片的正面设置有信号电极、信号电极焊盘、加热器焊盘，敏感膜，信号电极采用叉指电极结构；所述的AlN陶瓷基片的背面设有加热器、信号电极焊盘、加热器焊盘，加热器为中间带有间隙的蛇形排列结构， AlN陶瓷基片正面的加热器焊盘与背面的加热器焊盘、正面的信号电极焊盘与背面的信号焊盘均采用焊盘通孔结构连接，以提高封装工艺中引线的稳定性。在所述的AlN陶瓷基片中心加热区四周的方位上刻蚀四个梯形热隔离槽。