[实用新型]一种氮氧化物传感器芯片有效
| 申请号： | 201620189356.9 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN205426843U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 贺立龙;王博学;万筱怡;洪向东;殷春民;韩领社;孙卫龙 | 申请（专利权）人： | 西安创联电气科技（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 申忠才 |
| 地址： | 710065 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种氮氧化物传感器芯片，第六层膜带内设有第一扩散障层，第一扩散障层上方第六层膜带上设有环形氧泵电极，第一扩散障层的下方第五层膜带的一侧设有第一通孔a与第六层膜带和第四层膜带形成第一腔室、另一侧设有第二通孔b与第六层膜带和第四层膜带形成第二腔室，第一通孔a与第二通孔b之间设置有第二扩散障层，第一腔室顶部和底部设有主氧泵内电极，第二腔室顶部和底部左侧设有辅助泵电极，第二腔室右底部设有测量电极，第四层膜带上设有通孔与第五层膜带和第三层膜带形成半封闭的参比腔室，第四层膜带与第三层膜带之间设有一端伸入到参比腔内的参比电极，第三层膜带与第二层膜带之间设有加热电极第二层膜带与第一层膜带之间设有另一根加热电极引线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
一种氮氧化物传感器芯片，其特征在于：第一层膜带(1)上表面设置有第二层膜带(2)，第二层膜带(2)上表面设置有第三层膜带(3)，第三层膜带(3)上表面设置有第四层膜带(4)，第四层膜带(4)上表面设置有第五层膜带(5)，第五层膜带(5)上表面设置有第六层膜带(6)，第六层膜带(6)上加工有进气孔，进气孔内设置有第一扩散障层(8)，位于第一扩散障层(8)上方第六层膜带(6)上表面设置有环形氧泵电极(9)，环形氧泵电极(9)的中心线与进气孔的中心线重合，位于第一扩散障层(8)的下方第五层膜带(5)的一侧加工有第一通孔(a)与第六层膜带(6)和第四层膜带(4)形成第一腔室、另一侧加工有第二通孔(b)与第六层膜带(6)和第四层膜带(4)形成第二腔室，第一通孔(a)与第二通孔(b)相联通，第一通孔(a)与第二通孔(b)之间设置有第二扩散障层(10)，第一腔室的顶部和底部设置有主氧泵内电极(7)，第二腔室的顶部和底部靠近第二扩散障层(10)的一侧设置有辅助泵电极(11)，第二腔室底部另一侧设置有测量电极(12)，第四层膜带(4)上加工有第三通孔(c)与第五层膜带(5)和第三层膜带(3)形成半封闭的参比腔室，第四层膜带(4)与第三层膜带(3)之间设置有参比电极(13)，参比电极(13)的一端伸入到参比腔内，第三层膜带(3)与第二层膜带(2)之间设置有加热电极(14)和一根加热电极引线，第二层膜带(2)与第一层膜带(1)之间设置有另一根与加热电极(14)相连接的加热电极引线(15)。
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