[实用新型]一种双波长反射式数字全息显微镜

摘要

本实用新型公开一种双波长反射式数字全息显微镜，包括第一激光器、第二激光器、立方分束棱镜、光程延长器、第一反射镜、色散棱镜、立方合束棱镜和摄像器件，还包括第二反射镜、消色差透镜、消色差显微物镜和样品台。本实用新型用于反射式样品表面3D显微成像，两束不同波长的激光束共用一个光路和光学元件，使得装置结构相对简单，制造成本更低，使用时更加简单，便于推广使用。

主权项

一种双波长反射式数字全息显微镜，其特征在于，包括第一激光器、第二激光器、立方分束棱镜、光程延长器、第一反射镜、色散棱镜、立方合束棱镜和摄像器件，还包括第二反射镜、消色差透镜、消色差显微物镜、样品台和计算机；其中，第一反射镜、色散棱镜和立方合束棱镜的相对位置使得两种波长分别对应的全息干涉条纹的方向不一致；第一激光器和第二激光器输出两束波长不同的光束，两光束分别沿立方分束棱镜两个不同侧面的法线方向射入立方分束棱镜内，从立方分束棱镜的另两个侧面的法线方向分别各出射一束双波长混合的激光束；其中一束为参考光束，参考光束经光程延长器、第一反射镜反射入色散棱镜，色散棱镜将光束分离成传播方向稍有不同的两单波长激光束，两单波长激光束再一起射入一立方合束棱镜，再射入摄像器件内；另一束为物光束，物光束经第二反射镜反射入立方合束棱镜，再经消色差透镜和消色差显微物镜照射放置在样品台上的样品，被样品反射的光经过消色差显微物镜和消色差透镜射入立方合束棱镜内，将样品成像到摄像器件的像传感面上和参考光束进行干涉，形成双波长复合全息图；全息图被摄像器件拍摄后，存入计算机进行全息再现。