[实用新型]一种紧凑高精度运动平台

摘要

本实用新型涉及一种紧凑高精度运动平台，包括基座，基座上设置有沿X轴方向移动的第一平台，第一平台通过X轴丝杆与X轴伺服马达驱动连接，第一平台上设置有沿Y轴方向移动的第二平台，第二平台通过Y轴丝杆与Y轴伺服马达驱动连接，支架的一侧设置有Z轴伺服马达，所述Z轴伺服马达的转动轴与Z轴凸轮驱动连接，支架上设置有第三平台，第三平台通过θ轴旋转马达与旋转真空吸附平台相连，且上述的结构呈叠层布置。本实用新型可以有效的降低该装置的体积，并能实现对旋转真空吸附平台的调整。

主权项

一种紧凑高精度运动平台，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)上设置有第一滑轨(2)，所述第一滑轨(2)上设置有沿X轴方向移动的第一平台(3)，所述第一平台(3)通过X轴丝杆(4)与X轴伺服马达(5)驱动连接，所述第一平台(3)上设置有第二滑轨(6)，所述第二滑轨(6)上设置有沿Y轴方向移动的第二平台(7)，所述第二平台(7)通过Y轴丝杆(8)与Y轴伺服马达(9)驱动连接，所述第二平台(7)上设置有支架(10)，所述支架(10)的一侧设置有Z轴伺服马达(11)，所述Z轴伺服马达(11)的转动轴与Z轴凸轮(12)驱动连接，Z轴凸轮(12)在支架(10)的另一侧布置，所述支架(10)上设置有第三平台(13)，当Z轴伺服马达(11)驱动时，所述Z轴凸轮(12)将第三平台(13)抬升/下降布置，所述第三平台(13)上设置有第三滑轨，所述第三滑轨上设置有至少2块滑块，所述滑块通过直线丝杆(14)与θ轴旋转马达(15)驱动连接，所述滑块的一侧设置有齿条(16)，所述第三平台(13)上挂设有旋转真空吸附平台(17)，所述旋转真空吸附平台(17)设置有齿轮(18)，并与齿条(16)相啮合布置，当θ轴旋转马达(15)驱动后，旋转真空吸附平台(17)随齿条(16)的移动而旋转θ角度。