[实用新型]防止湿法刻蚀槽滴液的装置有效

专利信息
申请号: 201620115715.6 申请日: 2016-02-04
公开(公告)号: CN205508851U 公开(公告)日: 2016-08-24
发明(设计)人: 胡克喜;郭威;李志刚;杨保平;何悦 申请(专利权)人: 尚德太阳能电力有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁;郑暄
地址: 201114 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种防止湿法刻蚀槽滴液的装置,其中包括设置于刻蚀槽上方的盖板,至少一个吸液棉,所述的吸液棉贴附于刻蚀槽的盖板的内表面,所述的吸液棉采用塑料螺钉固定于所述的盖板上,所述的盖板上设置有弧形窗口。采用该种结构的防止湿法刻蚀槽滴液的装置,吸液棉可以防止液滴直接低落,用塑料螺丝固定四个角,方便更换吸液棉,冷凝液滴顺着吸液棉滑落到盖板边缘,防止液滴落到产品上,造成腐蚀,吸液棉是聚丙烯材料,专门用于吸收化学液体,不会发生降解或造成危险化学反应,即使在饱和的情况下也不会扯破,撕裂或磨损,具有更广泛的应用范围。
搜索关键词: 防止 湿法 刻蚀 槽滴液 装置
【主权项】:
一种防止湿法刻蚀槽滴液的装置,其特征在于,所述的装置包括设置于刻蚀槽上方的盖板,至少一个吸液棉,所述的吸液棉贴附于刻蚀槽的盖板的内表面;所述的吸液棉采用塑料螺钉固定于所述的盖板上;所述的塑料螺钉为四个,分别设置于所述的吸液棉的四个角上。
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