[实用新型]高压等离子体电源

摘要

本实用新型涉及一种高压等离子体电源，所述高压等离子体电源包括三相半控整流电路、延时启动电路，滤波储能电路、全桥电路、LC串联谐振电路、倍压整流电路、功率调节电路、反馈控制电路、变频电路、IGBT全桥驱动电路、报警电路；所述三相半控整流电路通过全桥电路、LC串联谐振电路连接高压变压器，所述功率调节电路和反馈控制电路连接反馈控制电路，所述反馈控制电路通过变频电路连接全桥驱动电路。

主权项

一种高压等离子体电源，其特征在于,所述高压等离子体电源包括三相半控整流电路、延时启动电路，滤波储能电路、全桥电路、LC串联谐振电路、倍压整流电路、功率调节电路、反馈控制电路、变频电路、IGBT全桥驱动电路、报警电路,所述三相半控整流电路通过全桥电路、LC串联谐振电路连接高压变压器，所述反馈控制电路通过变频电路连接全桥驱动电路，所述三相半控整流电路由半控整流桥BR1，电阻R1~6，电容C11,C18~20，二极管D1及接插件H18连接至辅助电源共同完成，控制电源经插件H18连接R3,R6,C20控制L1相；控制电源经插件H18连接R1,R5,C19控制L2相；控制电源经插件H18连接R2,R4,C18控制L3相，二极管D1经接插件H18反向连接至辅助电源起保护作用；所述延时启动电路由二极管D2,D10,D11，电阻R11~14组成，延时启动由控制电源产生，通过接插件H18连接到R11~14，再通过D2,D10,D11连接到三相交流电源，所述滤波储能电路由电容C24~31,电阻R24,R26组成，电容C24，C26并联后连接C28与C30并联,电容C12并接电容C13滤出高频干扰，电阻R24连接R26为储能电容提供能量卸放回路，电阻R24,R26为储能电容提供能量卸放回路，所述全桥电路由两个IGBT0模块Q19,Q20组成全桥电路，瞬态吸收二极管Z3~Z6和电容C16，C17,C22,C23组成IGBT模块保护电路；电阻R30,R15,R113,R20,R32,R8,R114,R17为栅极串联电阻，电阻R10,R19,R16,R22为栅极并联电阻，所述栅极串联电阻和栅极并联电阻为IGBT驱动电路的一部分，为减小开关时间和损耗，设计时尽量靠近IGBT模块，电阻R15,R16,R30连接瞬态吸收二极管Z4组成Q20栅极驱动G1，电阻R113,R20,R22连接瞬态吸收二极管Z6组成Q20栅极驱动G2，电阻R32,R8,R10连接瞬态吸收二极管Z3组成Q19栅极驱动G3，电阻R114,R17,R19连接瞬态吸收二极管Z5组成Q19栅极驱动G4；C16，C22连接Q20的漏源极，C17,C23连接Q19的漏源极组成IGBT模块漏源保护电路。