[实用新型]高压等离子体电源

权利要求书

1.一种高压等离子体电源，其特征在于,所述高压等离子体电源包括三相半控整流电路、延时启动电路，滤波储能电路、全桥电路、LC串联谐振电路、倍压整流电路、功率调节电路、反馈控制电路、变频电路、IGBT全桥驱动电路、报警电路,所述三相半控整流电路通过全桥电路、LC串联谐振电路连接高压变压器，所述反馈控制电路通过变频电路连接全桥驱动电路，所述三相半控整流电路由半控整流桥BR1，电阻R1~6，电容C11,C18~20，二极管D1及接插件H18连接至辅助电源共同完成，控制电源经插件H18连接R3,R6,C20控制L1相；控制电源经插件H18连接R1,R5,C19控制L2相；控制电源经插件H18连接R2,R4,C18控制L3相，二极管D1经接插件H18反向连接至辅助电源起保护作用；所述延时启动电路由二极管D2,D10,D11，电阻R11~14组成，延时启动由控制电源产生，通过接插件H18连接到R11~14，再通过D2,D10,D11连接到三相交流电源，所述滤波储能电路由电容C24~31,电阻R24,R26组成，电容C24，C26并联后连接C28与C30并联,电容C12并接电容C13滤出高频干扰，电阻R24连接R26为储能电容提供能量卸放回路，电阻R24,R26为储能电容提供能量卸放回路，所述全桥电路由两个IGBT0模块Q19,Q20组成全桥电路，瞬态吸收二极管Z3~Z6和电容C16，C17,C22,C23组成IGBT模块保护电路；电阻R30,R15,R113,R20,R32,R8,R114,R17为栅极串联电阻，电阻R10,R19,R16,R22为栅极并联电阻，所述栅极串联电阻和栅极并联电阻为IGBT驱动电路的一部分，为减小开关时间和损耗，设计时尽量靠近IGBT模块，电阻R15,R16,R30连接瞬态吸收二极管Z4组成Q20栅极驱动G1，电阻R113,R20,R22连接瞬态吸收二极管Z6组成Q20栅极驱动G2，电阻R32,R8,R10连接瞬态吸收二极管Z3组成Q19栅极驱动G3，电阻R114,R17,R19连接瞬态吸收二极管Z5组成Q19栅极驱动G4；C16，C22连接Q20的漏源极，C17,C23连接Q19的漏源极组成IGBT模块漏源保护电路。

2.根据权利要求1所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述LC串联谐振电路由L1,C1~5以及高压变压器T1漏感组成，升压变压器T1的初级经谐振电感L1串联连接到谐振电容C1~C5，电容C1~C5连接到全桥臂功率模块Q20。

3.根据权利要求2所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述倍压整流电路由高压电容CH1,CH2,高压硅堆DH1组成，升压变压器T1的次级经高压电容CH1,CH2串联后连接到高压硅堆DH1，采用倍压后，输出电压升高一倍。

4.根据权利要求2或3所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述功率调节电路由可调电位器W4及R46,R78,R79,C47组成，可调电位器W4经R46连接到电源正端，又经R78连接到电源地，可调电位器W4的输出经R79并联C47滤波后送到功放电路U3B，功率调节作为给定输入参数，作为反馈调节的参考点。

5.据权利要求4所述的高压等离子体电源，其特征在于，所述反馈控制电路是指在给定的功率条件下，通过控制输出电压或输出电流实现稳定的功率输出，包括电流反馈和电压反馈，U4B及R40,R42,C22经R39送到功率调节电路的反相输入端，形成反馈信号；所述电流反馈包括：电流互感器CSS1采样高压变压器输入端原边的交流工作电流，采样包括全波整流电路以及滤波、额定电阻负载，其中二极管D4,D5,D8，D9组成全波整流电路，电容C48,电阻R50组成滤波，电阻R54为额定负载；采样电流幅值较小，再经过电阻R39，电容C35滤去杂波，再送到运放U3A及电阻R42,R43,电容C34，将小电流信号放大,形成与变压器原边的工作电流变化相对应的电流信号PC；所述电压反馈包括：通过接插件H10接到高压变压器的辅助绕组，形成与输出电压成比例的电压信号，电压的采样包括全波整流电路以及滤波，其中二极管D16,D17,D20，D21组成全波整流电路，电阻R96为额定负载，电容C95滤波，电阻R84,R86，电容C74组成分压取样，再经U1A电压跟随，形成与变压器原边的工作电压变化相对应的电流信号PV。