[实用新型]一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置

摘要

本实用新型公开了一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置。铌酸锂晶片上制造一对叉指电极，无盖的PDMS腔体覆盖在铌酸锂晶片的正中央，两个叉指电极分别位于PDMS腔体的两侧并呈对称分布，PDMS腔体内充满由光敏材料和纳米银线组成的液态预聚物，UV固化灯置于铌酸锂晶片下方；启动信号发生器，压电晶片受到高频交变电场的作用而激发声表面波，通过调节信号发生器的输出频率使PDMS腔体覆盖区域形成稳定的驻波场；纳米银线线性排布，待排布稳定后，采用UV固化灯对PDMS腔体进行照射，使液态预聚物固化成型。本实用新型能实现快速制造柔性的微米线电极，具有操作简便、可控性强和生产效率高等特点。

主权项

一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置，其特征在于：包括铌酸锂晶片(2)、叉指电极(1)、PDMS腔体(3)和UV固化灯(5)，在铌酸锂晶片(2)上形成有一对平行的叉指电极(1)，叉指电极(1)与铌酸锂晶片(2)构成声表面波换能器，声表面波换能器与信号发生器的两个输出通道相连，无盖的PDMS腔体(3)覆盖在铌酸锂晶片(2)的正中央，两个叉指电极(1)分别位于PDMS腔体(3)的两侧并呈对称分布，PDMS腔体(3)内充满有液态预聚物(4)，UV固化灯(5)置于PDMS腔体(3)正下方。