[发明专利]一种形成光学分光透镜的结构和方法

摘要

本发明提供了一种光学分光透镜的结构，通过改变透镜材料层的材质及透镜的形状，可以得到不同光波范围的分光特性，满足从紫外光到红外光的需求。本发明还提供了一种形成光学分光透镜的方法，通过在衬底中利用晶向刻蚀形成不同的透镜形状的凹陷，再在凹陷中淀积透镜材料形成透镜，可便捷地形成各种光学分光透镜，并且可以与现有集成电路制造工艺完全兼容。

主权项

1.一种形成光学分光透镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01：提供一衬底，所述衬底为单晶硅，所述衬底的上表面晶相为<100>晶向或<111>晶向或<110>晶向；步骤S02：在所述衬底上表面沉积一掩模层，并图案化，确定透镜的位置；步骤S03：以图案化的掩模层为掩模，刻蚀掩模下方的衬底层，形成透镜形状的凹陷，当单晶硅衬底的上表面为<100>晶向时，所述透镜形状为四棱锥；当单晶硅衬底的上表面为<111>晶向时，所述透镜形状为三棱锥；单晶硅衬底的上表面为<110>晶向时，所述透镜形状为三菱柱；步骤S04：在凹陷中沉积填充透镜材料，形成透镜材料层；步骤S05：平坦化透镜材料层的上表面。