[发明专利]一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用有效

专利信息
申请号: 201611267205.1 申请日: 2016-12-31
公开(公告)号: CN108269888B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 邵慧慧;徐现刚;于果蕾;刘成成;李沛旭 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/20;B23K26/362
代理公司: 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人: 王楠
地址: 250101 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用,属于光电子技术领域,包括以下步骤:(1)在蓝宝石衬底上沉积一层光刻胶掩膜;(2)利用光刻对版进行曝光;(3)显影出光刻胶图形;(4)利用光刻胶做掩膜,激光刻蚀蓝宝石衬底,得到半球状蓝宝石图形衬底;(5)清洗衬底,利用加热的浓硫酸清洗衬底,得到半球状蓝宝石图形衬底。本发明通过光刻胶作掩膜,利用激光刻蚀光刻胶掩膜,有效的利用激光刻蚀过程中的钻蚀性制备出半球状图形衬底。解决了干法刻蚀蓝宝石价格比较昂贵的问题,湿法腐蚀图形失真的问题,工艺简单,便于操作,效率高,同时降低生产成本。
搜索关键词: 衬底 激光刻蚀 蓝宝石图形 蓝宝石 半球状 制备 光刻胶掩膜 光刻胶 掩膜 清洗 光电子技术领域 光刻胶图形 干法刻蚀 湿法腐蚀 浓硫酸 沉积 对版 光刻 显影 钻蚀 加热 应用 曝光
【主权项】:
1.一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)旋转蓝宝石衬底,在蓝宝石衬底上涂上一层光刻胶,烘烤;所述旋转采用两个不同的旋转速度,第一转速200-3000转/min,第二转速2500-7000转/min,烘烤5-30min;/n(2)利用光刻对版进行曝光,曝光时间1s-20s;/n(3)显影出光刻胶图形,然后烘烤,显影液为碱性溶液,显影时间为25s,烘烤时间为5-30min;/n(4)利用光刻胶做掩膜,激光刻蚀蓝宝石衬底,得到具有半球状突起的蓝宝石图形衬底,激光刻蚀的激光功率为20~200W;利用光刻胶做掩膜,对带有光刻胶图形的衬底进行激光刻蚀,通过控制不同位置的激光功率,未覆盖掩膜的衬底区域受刻蚀的速率大于覆盖掩膜的衬底区域,从而形成具有半球状突起的衬底;掩膜随着刻蚀的进行,掩膜不断的减小,最终完成刻蚀,制备出半球状突起图形;/n(5)清洗步骤(4)中的具有半球状突起的蓝宝石图形衬底。/n
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