[发明专利]一种高压气体流量控制装置

摘要

本发明公开了一种高压气体流量控制装置，包括流量阀、先导伺服阀以及位移传感器，流量阀包括阀体、阀座、阀套、阀芯、阀套端盖、下端盖、弹簧导向套和复位弹簧，阀体下端面固定有下端盖，位移传感器固定在下端盖上，阀体的轴向通孔内自下而上依次安装有弹簧、弹簧导向套、阀套端盖、阀套、阀芯以及阀座，阀芯外壁包套有阀套，阀芯外壁具有环形凸台，环形凸台位于阀套的下孔内并将下孔的容腔分为控制腔a和控制腔b，阀体壁面上设置有第二、第三孔道，第二孔道连通控制腔a，第三孔道连通控制腔b，先导伺服阀包括三位四通电‑气伺服阀、第一、第二电磁开关阀及连接阀块。本发明的高压气体流量控制装置响应速度快、控制精度高。

主权项

1.一种高压气体流量控制装置，包括先导伺服阀和位移传感器，其特征在于，还包括流量阀，其中，所述流量阀包括阀体(110)、阀座(120)、阀套(130)、阀芯(140)、阀套端盖(150)、下端盖(160)、弹簧导向套(170)和复位弹簧(171)，所述阀体(110)为具有轴向通孔的筒状体，其轴向通孔为多阶阶梯孔，所述阀体(110)下端面固定有下端盖(160)，所述位移传感器固定在下端盖(160)上且所述位移传感器的伸长杆伸入流量阀内，所述阀体(110)的轴向通孔内自下而上依次安装有弹簧(171)、弹簧导向套(170)、阀套端盖(150)、阀套(130)、阀芯(140)以及阀座(120)，所述阀座(120)为具有轴向中心通孔(121)的旋转体，所述轴向中心通孔(121)为圆锥形，以与阀芯(140)上端面具有的锥形面形成密封配合，所述阀芯(140)设置在阀体(110)轴向通孔内，所述阀芯(140)外壁包套有阀套(130)，所述阀套(130)为筒状，其中心具有二阶阶梯状的轴向通孔，该二阶阶梯状的轴向通孔自上而下依次为相互连通的上孔(132)和下孔(133)，所述阀芯(140)外壁具有环形凸台，该环形凸台位于阀套(130)的下孔(133)内，阀芯(140)上部从阀套(130)的上孔(132)穿出，并与阀套(130)的上孔(132)内壁形成密封，所述阀芯(140)的环形凸台将下孔(133)的容腔分为位于环形凸台上方的控制腔a和位于环形凸台下方的控制腔b，所述阀芯(140)下段内部具有与阀芯(140)孔壁成一体的连接板(144)，所述连接板(144)中心具有中心通孔(146)，该中心通孔(146)用于供位移传感器的伸长杆穿出，所述连接板(144)上围绕所述中心通孔(146)具有多个平衡孔(147)，所述平衡孔(147)用于使连接板(144)两侧面气体压力平衡，弹簧导向套(170)固定在所述连接板(144)上，所述复位弹簧(171)圈套在所述弹簧导向套(170)外壁处，所述复位弹簧(171)一端抵接所述下端盖(160)且另一端抵接所述连接板(144)，阀套端盖(150)设置在所述阀套(130)的下端面和所述下端盖(160)的上端面间，所述阀体(110)壁面上设置有第一孔道(118A)、第二孔道(118B)以及第三孔道(118C)，所述第二孔道(118B)连通所述控制腔(a)，所述第三孔道(118C)连通所述控制腔(b)，第一孔道(118A)连通所述阀体(110)的入口，所述先导伺服阀包括三位四通电‑气伺服阀(210)、第一电磁开关阀(220)、第二电磁开关阀(230)及连接阀块(240)，所述三位四通电‑气伺服阀(210)上具有A口、P口、B口以及T口，所述三位四通电‑气伺服阀(210)上的A口、P口、B口分别通过连接阀块(240)内部孔道连通所述阀体(110)上的第二孔道(118B)、第一电磁开关阀(220)的出口、第二电磁开关阀(230)的入口，所述三位四通电‑气伺服阀(210)的T口连通大气，所述第一电磁开关阀(220)的入口通过连接阀块(240)内部孔道连通所述阀体(110)上的第一孔道(118A)，第一电磁开关阀(220)的入口同时通过连接阀块(240)内部节流孔(240A)连通所述阀体(110)上的第三孔道(118C)和第二电磁开关阀(230)的出口。