[发明专利]一种氟化氢气相腐蚀设备及方法在审
| 申请号： | 201611253281.7 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108251895A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 221300 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氟化氢气相腐蚀设备及方法，涉及微纳器件加工技术领域，旨在解决现有技术中氟化氢气相腐蚀中使用氢氟酸作为气相氟化氢源时容易产生固体残留物的问题。所述设备包括反应腔室、气相氟化氢源、和氟化氢气相增益装置，所述反应腔室设有第一入气口和第二入气口，所述第一入气口与气相氟化氢源相连，所述第二入气口与所述氟化氢气相增益装置相连，所述氟化氢气相增益装置用于在放置在所述反应腔室内的晶圆与从所述第一入气口进入的气相氟化氢反应后，将规定有机液体气液混合气化，并通过所述第二入气口通入所述反应腔室，以使所述规定气化的有机液体与所述反应腔室中的水，尤其是与残留在晶圆表面上的水形成比水更容易蒸发或挥发的共沸混合物后更容易从所述反应腔室的晶圆表面蒸发或挥发带出。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化氢 入气口 反应腔室 氟化氢源 增益装置 气相腐蚀设备 晶圆表面 有机液体 挥发 蒸发 加工技术领域 氟化氢反应 共沸混合物 固体残留物 气相腐蚀 气液混合 微纳器件 反应腔 气化的 氢氟酸 晶圆 气化 残留 室内 | ||
【主权项】：
1.一种氟化氢气相腐蚀设备，其特征在于，包括反应腔室、气相氟化氢源、和氟化氢气相增益装置，所述反应腔室设有第一入气口和第二入气口，所述第一入气口与所述气相氟化氢源相连，所述第二入气口与所述氟化氢气相增益装置相连，所述氟化氢气相增益装置用于在放置在所述反应腔室内的晶圆与从所述第一入气口进入的气相氟化氢反应后，将规定有机液体气液混合气化，并通过所述第二入气口通入所述反应腔室，以使所述气化的规定有机液体与所述残留在晶圆表面上的水形成比水更容易蒸发或挥发的共沸混合物后更容易从所述晶圆表面蒸发或挥发带出。
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