[发明专利]基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备

摘要

本发明涉及一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，包括依次经输送料道连通的进样室、黑硅制备腔室、介质膜制备腔室、掺杂膜制备腔室、透明电极制备腔室以及出样室；各腔室上分别设置有真空泵组；各腔室内分别设置有滚轮组，镂空载板可在各室之间的滚轮组上移动；镂空载板用以放置硅片，镂空的四角有四个小挂钩，镂空载板的材质为导电材质；各输送料道上分别设置有真空阀。可以一次性将硅片两面制备介质膜。同时，掺杂硅薄膜层也在一个腔体完成。

主权项

一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，包括依次经输送料道连通的进样室（1）、黑硅制备腔室（2）、介质膜制备腔室（4）、掺杂膜制备腔室（6）、透明电极制备腔室（8）以及出样室（9）；各腔室上分别设置有用于对其进行抽真空的真空泵组；各腔室内分别设置有滚轮组，镂空载板（12）可在各室之间的滚轮组上移动；镂空载板（12）用以放置硅片，镂空的四角有四个小挂钩，镂空载板（12）的材质为导电材质；各输送料道上分别设置有真空阀；镂空载板（12）带硅片进入介质膜制备腔室（4）对硅片上下面制备钝化膜；镂空载板（12）带硅片进入掺杂膜制备腔室（6）对硅片的上下面分别至少分两次进行掺杂膜的制备，制备时时间上进行错开；镂空载板（12）带硅片进入透明电极制备腔室（8）对硅片上下面制备ITO薄膜。