[发明专利]基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备

摘要

本发明涉及一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，包括进样室、黑硅制备腔室、介质膜制备腔室、掺杂膜制备腔室、透明电极制备腔室以及出样室，各室外设置真空泵组，各室内设置有滚轮组，镂空载板可在各室之间的滚轮组上往复移动；各输送料道上分别设置有真空阀；介质膜制备腔室和掺杂膜制备腔室结构相同，分别包括第一壳体，第一滚轮组的上下分别设置有阳极，楼板载板做阴极；透明电极制备腔室包括第二壳体，第二滚轮组的上下分别设设置有ITO靶材做阳极，楼板载板做阴极。可以一次性将硅片两面制备介质膜。同时，掺杂硅薄膜层也在一个腔体完成。

主权项

一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备，其特征是，包括依次经输送料道连通的进样室（1）、黑硅制备腔室（2）、介质膜制备腔室（4）、掺杂膜制备腔室（6）、透明电极制备腔室（8）以及出样室（9），所述进样室（1）、黑硅制备腔室（2）、介质膜制备腔室（4）、掺杂膜制备腔室（6）、透明电极制备腔室（8）以及出样室（9）上分别设置有用于对其进行抽真空的真空泵组，所述进样室（1）、黑硅制备腔室（2）、介质膜制备腔室（4）、掺杂膜制备腔室（6）、透明电极制备腔室（8）以及出样室（9）上内分别设置有滚轮组，镂空载板（12）可在各室之间的滚轮组上往复移动；各输送料道上分别设置有真空阀；所述的介质膜制备腔室（4）和掺杂膜制备腔室（6）结构相同，分别包括第一壳体，第一壳体内的滚轮组为第一滚轮组，所述第一滚轮组的上下分别设置有阳极（41），所述阳极（41）上开设有小孔；楼板载板移动至第一壳体内时做阴极，镂空载板（12）上下两端分别距离阳极（41）的间距为3‑5cm；所述透明电极制备腔室（8）包括第二壳体，第二壳体内的滚轮组为第二滚轮组，第二滚轮组的上下分别设设置有ITO靶材（81）做阳极，所述ITO靶材（81）上开设有小孔；楼板载板移动至第二壳体内时做阴极，所述镂空载板（12）的上下分别距离ITO靶材（81）的间距10‑15cm。