[发明专利]一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置有效
| 申请号： | 201611237415.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107081530B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 徐甄真;张龙;李增辉;李耀鹏 | 申请（专利权）人： | 净化控股集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/40 |
| 代理公司： | 33285 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 焦亚如<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 317605 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置，可以通过电脑控制一次性进行整个试验过程。由激光器、烧蚀光路、烧蚀腔、真空干燥腔、TEM观察腔、靶材控制系统、TEM样品运输系统构成，可以自动控制实验进行，效率高，控制精准，免于样品被污染和氧化，且可以原位进行试验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 制备 纳米 结构 实验 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置，其特征在于，由激光器(1)、烧蚀光路(2)、烧蚀腔(3)、真空干燥腔(4)、TEM观察腔(5)、样品生成装置(6)、TEM样品运输系统(7)构成；烧蚀腔(3)、真空干燥腔(4)、TEM观察腔(5)之间采用真空阀连接；激光器为三倍频固体激光器，可以发射1064nm、532nm、355nm的连续激光；烧蚀光路(2)具有分光镜(201)、振镜(202)、掩模(203)、可调透镜(204)；烧蚀腔具备第一进气管路(301)、第一出气管路(302)、第一真空泵(303)；真空干燥腔具备第二出气管路(401)、第二真空泵(402)、分子泵(403)、干燥装置(404)；TEM观察腔具有透射电子显微镜(501)可以对烧蚀样品进行观察；样品生成装置具有烧蚀池(601)和靶材控制系统(602)，烧蚀池内装烧蚀液，靶材控制系统具有靶材升降机构，靶材旋转平移机构和靶材翻转机构；TEM样品运输系统具有样品传送杆(701)、样品升降杆(702)、样品夹持器(703)；所有装置的控制系统均与控制计算机连接。/n
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