[发明专利]声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201611233848.4 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107404304B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 金大虎;丁大勋;韩源;孙尚郁 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 马翠平;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架；沟槽部，形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电机株式会社，未经三星电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611233848.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：形成沟槽的方法
- 下一篇：一种涤棉交织面料的染整工艺
