[发明专利]测量LTPS显示面板的TFT电性的方法

摘要

本发明提供一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法，其通过化学试剂同时与有机平坦层以及第二金属层中的铝反应，去除有机平坦层、第二金属层中的铝、以及第二金属层中的位于铝和有机平坦层之间的第一金属材料，仅保留第二金属层中位于远离所述有机平坦层一侧的第一金属材料，去除有机平坦层时不需要保留第二金属层中的铝，避免因第二金属层中的铝表面蚀刻不均匀导致的TFT电性测量偏差，能够准确测量LTPS显示面板的TFT电性，提升LTPS显示面板的TFT电性的测量成功率，保证LTPS显示面板产品良率。

主权项

一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一待测LTPS显示面板，所述待测LTPS显示面板包括：基板(1)、设于所述基板(1)上的缓冲层(2)、设于所述缓冲层(2)上的有源层(3)、设于所述有源层(3)和缓冲层(2)上的栅极绝缘层(4)、设于所述栅极绝缘层(4)上的第一金属层(5)、设于所述第一金属层(5)以及栅极绝缘层(4)上的层间绝缘层(6)、设于所述层间绝缘层(6)上的第二金属层(7)、设于所述第二金属层(7)以及层间绝缘层(6)上的有机平坦层(8)；所述第一金属层(5)包括对应所述有源层(3)设置的栅极(51)、以及与所述栅极(51)电性连接的栅极线(52)；所述第二金属层(7)包括分别与所述有源层(3)的两端接触的源极(71)和漏极(72)、以及与所述栅极线(52)电性连接的栅极驱动电路连接线(73)；所述第二金属层(7)的材料为两层第一金属材料(74)夹一层第二金属材料(75)，所述第二金属材料(75)为铝；步骤S2、提供一化学试剂，所述化学试剂在预设的反应条件下能够使有机平坦层(8)和铝分别发生化学反应，并且不会使第一金属材料(74)发生化学反应，用所述化学试剂在预设反应条件下使得所述有机平坦层(8)以及铝分别化学反应，剥离有机平坦层(8)、第二金属层(7)中的铝、以及第二金属层(7)中的位于铝和有机平坦层(8)之间的第一金属材料(74)，保留所述第二金属层(7)中位于远离所述有机平坦层(8)一侧的第一金属材料(74)；步骤S3、提供三根测试扎针(9)，用所述三根测试扎针(9)分别接触所述剩余的第二金属层(7)中的源极(71)、漏极(72)、以及所述栅极驱动电路连接线(73)，得出该待测LTPS显示面板的TFT电性曲线。