[发明专利]一种靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201611229097.9 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106756832B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 汪凯;李兆博;钟景明;焦红忠;宿康宁;王莉;马小文 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；C)将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺，可制备直径在400～1000mm，厚度在6～30mm的大规格靶材，且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20～40％，织构组分分布波动控制在10％以内，能满足28nm及以下制程的半导体应用。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 热处理 轧制 制备 工装 坯料 酸洗 织构 组分比例控制 热处理工艺 后热处理 快速升温 坯料放置 组分分布 轧机 制程 半导体 锻造 应用 | ||
【主权项】：
1.一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)，将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)，将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；所述工装与坯料的接触面与过上下轧辊轴线的平面的角度为θ，所述工装与坯料接触面的最低点所在的平面与下轧辊水平切面的距离为δ，所述θ＝±(55～85°)，所述δ＝±(20～50)mm；C)，将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。
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