[发明专利]高分子薄膜极化方法及装置、极化膜、电子器件有效
申请号: | 201611222575.3 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN106876579B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 王开安 | 申请(专利权)人: | 王开安 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257;H01L41/08 |
代理公司: | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人: | 王立红 |
地址: | 美国加利福*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及高分子薄膜极化方法及装置、极化膜、电子器件。一种高分子薄膜极化方法及装置,利用X射线电离待极化高分子薄膜上方的环境气体并在所述高电场作用下,穿过所述低电场而沉积在所述高分子薄膜表面,使所述高分子薄膜内形成沿所述薄膜厚度方向的膜内电场,从而完成所述高分子薄膜的极化。能有效提高极化膜的生产合格率,减少环境污染。本发明还提供一种极化膜,采用上述高分子薄膜极化方法制备得到,具有较强的压电效应和较长的使用寿命。本发明还提供一种电子器件,基底以及原位形成于所述基底上的极化膜,有效拓宽该电子器件的应用并增强其竞争力。 | ||
搜索关键词: | 高分子 薄膜 极化 方法 装置 电子器件 | ||
【主权项】:
一种高分子薄膜极化方法,其特征在于:包括:提供待极化高分子薄膜并使该薄膜电势为零,在所述待极化高分子薄膜上方提供高电场以及一个低电场,所述高电场电势高于所述低电场的电势,采用X射线电离待极化高分子薄膜上方的环境气体并在所述高电场作用下,穿过所述低电场而沉积在所述高分子薄膜表面,使所述高分子薄膜内形成沿所述薄膜厚度方向的膜内电场,从而完成所述高分子薄膜的极化。
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