[发明专利]一种高效紧凑型磁控镀膜装置及方法有效
| 申请号： | 201611216893.9 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106756850B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谢静娜;裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高效紧凑型磁控镀膜装置及方法，其装置包括沿基片输送方向依次连接的粗抽室、精抽室和至少一个镀膜室；镀膜室内设有呈S型的平面靶，平面靶中，靶座中部带有内凹腔体，导磁板设于内凹腔体底部，外圈磁铁和内圈磁铁分布于导磁板上，外圈磁铁围绕于内圈磁铁外周，外圈磁铁和内圈磁铁均呈S型。其方法是基片放置于基片托板上后，由基片输送机构从进出片平台上依次送入粗抽室、精抽室和镀膜室，在镀膜室内，由S型的平面靶对基片表面进行镀膜处理；镀膜完成后，由基片输送机构依次送出镀膜室、精抽室和粗抽室，最后送至进出片平台上；基片的送入方向与送出方向相反。本发明具有设备结构紧凑、镀膜效率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 外圈磁铁 镀膜室 平面靶 磁铁 粗抽 镀膜 精抽 内圈 基片输送机构 内凹腔体 导磁板 送出 送入 磁控镀膜装置 基片输送方向 室内 高效紧凑型 镀膜处理 镀膜效率 方向相反 基片表面 基片托板 设备结构 依次连接 靶座 外周 紧凑 | ||
【主权项】：
1.一种高效紧凑型磁控镀膜装置，其特征在于，包括并排连接的多个真空室，多个真空室包括沿基片输送方向依次连接的粗抽室、精抽室和至少一个镀膜室；镀膜室内设有呈S型的平面靶，平面靶包括靶座、外圈磁铁、内圈磁铁和导磁板，靶座中部带有内凹腔体，导磁板设于内凹腔体底部，外圈磁铁和内圈磁铁分布于导磁板上，外圈磁铁围绕于内圈磁铁外周，外圈磁铁和内圈磁铁均呈S型；/n粗抽室、精抽室和镀膜室之间设有连续式的基片输送机构，基片输送机构为双层结构，包括上层传动辊和下层传动辊，多个上层传动辊并排分布形成上层结构，多个下层传动辊并排分布形成下层结构；沿基片输送方向，位于最末端的镀膜室内，上层传动辊为左右开合式结构，下层传动辊为上下升降式结构。/n
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