[发明专利]一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法在审
| 申请号： | 201611206859.3 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106596491A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘卫静;李斌诚;邢廷文;林妩媚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触、非破坏性测量，不影响光学材料的使用。在光学材料性能分析中应用该方法，可以实现材料内羟基含量的实时测量，对分析材料性能具有重要参考价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 石英 材料 羟基 含量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置，其特征在于，所述测量装置包括照射光源(1)、可变衰减器(2)、光束整形模块(3)、小孔光阑(4)、分束镜(5)、光强探测器(6)、待测样品(7)、透镜(8)、滤光片(9)、荧光探测器(10)、总能量探测器(11)和计算机(12)，照射光源(1)经过可变衰减器(2)调节能量，通过光束整形模块(3)进行光束形状和均匀性控制，出射光束经过小孔光阑(4)后由分束镜(5)分光，反射光进行光强实时监测，透射光照射至待测样品(7)上，待测样品(7)为石英材料样品，石英材料在光源的照射下由于内部与羟基有关的缺陷中心的存在激发荧光，荧光探测器(10)通过透镜(8)进行荧光收集，经过滤光片(9)后由荧光探测器测量与羟基有关的荧光强度，总能量探测器(11)用于测量前对光强探测器(6)进行标定，计算机(12)用于控制照射光源(1)，计算机(12)采集光强探测器(6)、总能量探测器(11)和荧光探测器(10)的测量数据并进行数据处理得到紫外级熔石英材料内羟基含量。
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