[发明专利]一种基于表面光栅的DFB激光器

摘要

本发明公开了一种基于表面光栅的DFB激光器。该激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅；脊区采用高折射率材料，使光栅具有大的耦合系数；脊形波导上面不做电极，电极位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽；该激光器的下波导盖层中含有一个或多个电流限制区，或者是在上波导盖层中制作一个掩埋隧道结来限制电流。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，因而降低了器件的制作成本，提高了器件的可靠性。此外本发明可以获得大的耦合系数，因而在激光器腔长很短的情况下能获得低阈值以及高速直调的激光器性能。

主权项

一种基于表面光栅的DFB激光器，其特征在于，所述激光器包括中间的脊形波导结构以及两侧的上、下电极区，所述激光器的横截面自下而上包括衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；所述上波导盖层为N型掺杂，包含上下排列的高折射率层和高电导率层，所述高折射率层材料的折射率能够大于有源层的材料折射率，所述高折射率层的厚度小于1微米，所述高折射率层的中间区域形成所述脊形波导的脊区，所述脊区表面刻有布拉格光栅；所述上电极区位于所述脊波导的两侧，所述脊形波导与所述上电极区之间刻有沟槽；所述高电导率层与所述上电极区相连；所述下波导盖层中含有一个或多个电流限制区；或者在所述上波导盖层制作有一个掩埋隧道结，以用于限制电流；所述下波导盖层中含有一层欧姆接触层；所述的下电极区位于所述的两个上电极区的两侧；所述欧姆接触层与所述下电极区相连。