[发明专利]一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器有效
| 申请号： | 201611194964.X | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106672926B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子真空材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。优点在于：纯化能力强：可使惰性气体杂质含量达到1E‑3ppm量级；价格低廉；对杂质气体的吸收能力较强；与被纯化的系统连接方便。通过本发明，可满足一些对惰性气体纯度要求较高，而成本控制相对严格的惰性气体纯化领域，也可与传统的纯化器件联用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 蒸散 吸气 惰性气体 纯化 | ||
【主权项】：
1.一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征是包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。
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