[发明专利]一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器有效
| 申请号： | 201611194964.X | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106672926B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子真空材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 蒸散 吸气 惰性气体 纯化 | ||
【说明书】：
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