[发明专利]一种非球面检测光路中光学间隔测量系统及方法有效
| 申请号： | 201611192915.2 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106767471B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 付西红;李华;马娜娜;刘杰;宋冲;李硕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种带有Offner补偿器的非球面检测光路中光学间隔非接触精密测量的系统及方法，属于非球面检测领域，该系统包括激光干涉仪、镜面定位仪、Offner补偿器、被测非球面镜以及与最佳面形检测光路共光轴的光轴指向十字分划板；该系统有三条自准直检测光路，三条自准直检测光路为同一共光轴光路，即非球面面形误差均方根RMS值最小时的最佳面形检测光路光轴，构建光学间隔检测直线光轴，通过镜面定位仪非接触式测量检测光路中的不同光学间隔，并将其代入光学设计软件中进行复算可得非球面顶点曲率半径R、二次常数K等几何参数值。本发明测量精度约为0.05mm，检测精度高，非接触式测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 检测 光路中 光学 间隔 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所，未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611192915.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：塑胶密封圈自动供料机
- 下一篇：一种转页及转页扇
