[发明专利]基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法有效
| 申请号： | 201611184781.X | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106847680B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张亮;左瑜 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/04 | 分类号： | H01L21/04;H01L29/66;H01Q1/38;H01Q7/00;H01Q23/00 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法。该方法包括：选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底表面生长GaAs材料；在所述GaAs材料上按照所述套筒偶极子天线的结构制作多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个所述SPiN二极管串制作所述天线臂和所述套筒；制作所述同轴馈线以连接所述天线臂及所述套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。本发明实施例的套筒偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂及套筒长度的可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 gaas 频率 可重构 套筒 偶极子 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法，其特征在于，所述套筒偶极子天线包括GaAs衬底材料、天线臂、套筒、同轴馈线、直流偏置线；其中，所述制备方法包括：选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底表面生长GaAs材料；在所述GaAs材料上按照所述套筒偶极子天线的结构制作多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个所述SPiN二极管串制作所述天线臂和所述套筒；制作所述同轴馈线以连接所述天线臂及所述套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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