[发明专利]一种钽表面碳化改性的方法及其制备的产品有效
| 申请号： | 201611158491.8 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN106756767B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱康伟;胡殷;周寰林;罗文华;龙重;马策;杨锁龙;陈晓龙;罗志鹏;罗丽珠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钽表面碳化改性的方法及其制备的产品，目的在于解决钽材料具有高熔点，现有的钽碳化表面改性技术工艺复杂，改性层组织不易控制等的问题。本发明在控制真空室内杂质状态的前提下，离化甲烷气体，在金属钽的表面通过碳离子束轰击引入碳元素，通过离子束轰击产生的热量加热帮助碳元素向金属钽内部扩散，在金属钽表面形成碳化物改性层，以增强金属钽表面的耐熔体腐蚀能力。本发明制备工艺简单，生产效率高，成本低廉，能够满足工业化大规模应用的需求。同时，本发明制备的产品具有较好的耐熔体腐蚀能力，值得大规模推广和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 金属钽 制备 碳化改性 改性层 碳元素 钽表面 熔体 腐蚀 表面改性技术 发明制备工艺 大规模应用 离子束轰击 表面形成 甲烷气体 生产效率 杂质状态 高熔点 碳化物 碳离子 离化 碳化 轰击 加热 室内 扩散 引入 应用 帮助 | ||
【主权项】：
1.一种钽表面碳化改性的方法，其特征在于，在金属钽的表面通过甲烷离化的碳离子束轰击引入碳元素，以离子束轰击产生的能量作为热源辅助碳元素向金属钽内部扩散，在金属钽表面形成碳化物改性层；包括如下步骤：(1)预处理将清洗干净后的金属钽放入真空室内，并将真空室抽真空，再将真空室整体烘干以除去吸附气体，然后用氩离子轰击金属钽表面进行离子清洗；(2)待步骤(1)金属钽用氩离子轰击清洗完成后，向真空室内充高纯甲烷至20～100Pa，通过施加偏压离化甲烷，在金属钽表面形成能量为500～2000V，束流强度为200～4000mA/cm2的碳离子流轰击金属钽表面，从而在金属钽表面引入碳元素，至反应完成。
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