[发明专利]N型多晶硅铸锭装置及铸锭方法在审
| 申请号： | 201611151115.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108221047A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 魏汝超 | 申请（专利权）人： | 超能高新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龙潭*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种N型多晶硅铸锭装置，包括：铸锭炉，所述铸锭炉内设有坩埚，所述铸锭炉顶端设有用于存放硅料的储料仓，所述储料仓与所述坩埚连接有输料管，所述储料仓的硅料投料由出料阀控制，其特征在于，所述铸锭炉的顶端设置有高功率激光单元，所述高功率激光单元设置有激光源，所述激光源用于对自所述储料仓投入所述坩锅的硅料进行辐射扫描；所述储料仓的外部分别设有真空抽气阀与惰性气体进气阀，所述储料仓还设有加热单元用于对储料仓的硅料进行预加热。本发明同时提出一种利用本发明装置的铸锭方法。 | ||
| 搜索关键词： | 储料仓 铸锭炉 硅料 高功率激光 铸锭装置 激光源 铸锭 坩埚 真空抽气阀 单元设置 顶端设置 惰性气体 辐射扫描 加热单元 出料阀 进气阀 输料管 预加热 投料 坩锅 外部 | ||
【主权项】：
1.一种N型多晶硅铸锭装置，其特征在于，包括：铸锭炉，所述铸锭炉内设有坩埚，所述铸锭炉顶端设有用于存放硅料的储料仓，所述储料仓与所述坩埚连接有输料管，所述储料仓的硅料投料由出料阀控制，所述铸锭炉的顶端设置有高功率激光单元，所述高功率激光单元设置有激光源，所述激光源用于对自所述储料仓投入所述坩锅的硅料进行辐射扫描；所述储料仓的外部分别设有真空抽气阀与惰性气体进气阀，所述储料仓还设有用于对所述储料仓的硅料进行预加热的加热单元。
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