[发明专利]透射光学元件疵病测试装置及方法有效
| 申请号： | 201611147850.X | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106841236B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 陈永权;段亚轩;赵建科;李坤;聂申;宋琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为了解决传统测试方法耗时耗力、对光学元件内部的疵病测量受限的弊端，本发明提供了一种透射光学元件疵病的测试装置及方法，其中装置包括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机；所述准直镜设置在激光器的输出光路上；所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统，成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系；所述成像系统固定在移动机构上；所述移动机构与采集控制计算机相连。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 光学 元件 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
透射光学元件疵病的测试装置，其特征在于：包括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机；所述准直镜设置在激光器的输出光路上；所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统，成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系；所述成像系统固定在移动机构上；所述移动机构与采集控制计算机相连。
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