[发明专利]透射光学元件疵病测试装置及方法

权利要求书

1.一种检测透射光学元件疵病的方法，其特征在于：

采用的透射光学元件疵病的测试装置，包括括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机；所述准直镜设置在激光器的输出光路上；所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统，成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系；所述成像系统固定在移动机构上；所述移动机构与采集控制计算机相连；

所述方法，包括以下步骤：

1)开启激光器，将激光注入准直镜进行准直；

2)使准直后的激光束照射被测光学元件的某一待测试区域；

3)观察成像系统的图像，若出现衍射图样，则表明被测光学元件当前被照射区域处有疵病，进入步骤4)；

4)沿轴向调整移动机构的位置使衍射环逐渐变小直至衍射环消失，此时成像系统的监视面与被测光学元件的疵病位置重合；

5)移动被测光学元件，使激光束通过被测光学元件口径的下一个测试区域，采用步骤3)～4)相同的方法对该区域进行测试；

6)重复步骤3)至步骤5)，直至完成整个光学元件所有区域的测试；

7)将所有测试区域中存在疵病的位置数据进行拼接，得到整个光学元件的空间缺陷信息。

2.根据权利要求1所述的检测透射光学元件疵病的方法，其特征在于：包括以下步骤：所述步骤5)中将待测光学元件放置在载物台上，采用扫描机构整体移动载物台和待测光学元件。