[发明专利]一种镀膜隔热反光石英热屏及其制备方法有效
申请号: | 201611139837.X | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN108609864B | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 贾祯;梁永生;冉瑞应;栗宁;张立平 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36;C30B15/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明公开的一种镀膜隔热反光石英热屏,包括石英基底以及石英基底内表面镀设的一层银膜层,银膜层完全贴合设置有石英内衬。本发明还公开了上述镀膜隔热反光石英热屏的制备方法,包括步骤:制得石英基底;对石英基底的内表面进行镀银处理;将熔融状态的石英铺设于银膜层上冷却,即得本发明的石英热屏。本发明的一种镀膜隔热反光石英热屏的制备方法将高纯石英高温熔融后制成石英基底然后对其内表面进行镀银处理,再将熔融状态的石英铺设于银膜层上冷却后得到本发明的石英热屏,该石英热屏是双面反光结构,基底与银膜构成的反光面主要起到隔热作用,内衬与银膜构成的反光面主要起到反射作用,从而有效增大温度梯度,提高单晶生长速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 隔热 反光 石英 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜隔热反光石英热屏,其特征在于,包括石英基底(1)以及石英基底(1)内表面镀设的一层银膜层(3),所述银膜层(3)完全贴合设置有石英内衬(2),所述石英基底(1)和石英内衬(2)的形状与单晶炉内石墨热屏内胆形状相适应。
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