[发明专利]一种合成碱、A向蓝宝石抛光液及其制备方法有效
申请号: | 201611136409.1 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN106700944B | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 苑亚斐;许亚杰;尹芳芳 | 申请(专利权)人: | 北京国瑞升科技股份有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 李进 |
地址: | 100085 北京市海淀区上*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种合成碱、A向蓝宝石抛光液及其制备方法,涉及宝玉石抛光的技术领域,包括一种合成碱,以及上述合成碱、硅溶胶、表面活性剂、强碱、无机盐和去离子水等组成的A向蓝宝石抛光液及其制备方法,该抛光液解决了现有技术A向蓝宝石在抛光过程中抛光液的pH值不稳定,随着抛光的进行抛光液的pH值逐级下降,导致抛光速率降低,晶片整体的TTV值过大的问题,达到了抛光液参与抛光过程的时候能够更好地持续不断地释放羟基,从而保持抛光液的pH的稳定,最终保证抛光速率和抛光表面的稳定的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 抛光液 抛光 合成碱 蓝宝石抛光液 制备 抛光过程 无机盐 强碱 表面活性剂 技术效果 抛光表面 去离子水 速率降低 蓝宝石 宝玉石 硅溶胶 速率和 晶片 羟基 释放 保证 | ||
【主权项】:
1.一种合成碱,其特征在于,按质量份数计,主要由如下原料制备得到:第一类反应物1~5份、第二类反应物3~30份和第三类反应物3~30份,其中,所述第一类反应物为具有如式(Ⅰ)所示结构的化合物及其金属盐:
式(Ⅰ)中,R1选自烷基,所述烷基是指具有1~8个碳原子的取代或未取代的直链或支链烷基;所述金属盐为钠盐、镁盐、铜盐、铅盐、锌盐或铁盐;所述第二类反应物为具有如式(Ⅱ)所示结构的化合物:
式(Ⅱ)中,R2选自烷基、羟烷基、环烷基、芳烷基、未取代或取代芳基或未取代或取代杂芳基,所述烷基是指具有1~8个碳原子的取代或未取代的直链或支链烷基;所述羟烷基是指具有2~20个碳原子的羟烷基;所述环烷基为具有3~20个碳原子的环烷基;所述取代烷基为卤素取代的1~20个碳原子的烷基、羟基取代的1~20个碳原子的烷基、氰基取代的1~20个碳原子的烷基、硝基取代的1~20个碳原子的烷基或者氨基取代的1~20个碳原子的烷基;所述芳烷基为芳基取代的1~20个碳原子的烷基;式(Ⅱ)中,R3选自烷基,所述烷基是指具有1~8个碳原子的取代或未取代的直链或支链烷基;所述第三类反应物为具有如式(Ⅲ)所示结构的化合物:
式(Ⅲ)中,R4选自烷基,所述烷基是指具有1~8个碳原子的取代或未取代的直链或支链烷基;式(Ⅲ)中,R5、R6、R7、R8相同或不同,选自具有2~20个碳原子的羟烷基。
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