[发明专利]光学元件柔性支撑结构高度修整系统及方法在审
申请号: | 201611133644.3 | 申请日: | 2016-12-10 |
公开(公告)号: | CN108227104A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 张建国;张辉;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;B23Q3/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种光学元件柔性支撑结构高度修整系统,包括基座;水平回转工作台,所述水平回转工作台的中心设有一个转轴,并可绕该转轴水平自转;支撑镜框,固定安装在所述水平回转工作台上,所述支撑镜框的中心位于所述转轴上;装有金刚石刀具的椭圆振动刀头,设置在一支撑运动机构上,可沿水平及垂直方向移动;所述多个柔性支撑结构通过固定平台固定设置在所述支撑镜框上,并相对于所述支撑镜框中心的圆周上均匀布置,且每个支撑面上对应相同的点位于同一圆上,圆心即为支撑镜框的中心;还包括一个控制系统,控制所述水平回转工作台及支撑运动机构的工作,可以实现低刚度光学元件柔性支撑结构支撑面的高度一致性的修整。 | ||
搜索关键词: | 柔性支撑结构 支撑 镜框 水平回转工作台 光学元件 修整系统 支撑运动 转轴 水平及垂直方向 高度一致性 金刚石刀具 固定平台 固定设置 镜框中心 均匀布置 控制系统 水平回转 椭圆振动 转轴水平 圆心 低刚度 刀头 自转 修整 移动 | ||
【主权项】:
1.一种光学元件柔性支撑结构高度修整系统,所述柔性支撑结构包括一个固定平台及一个设有支撑面的支撑部,所述支撑部设置在所述固定平台上,其特征在于:所述光学元件柔性支撑结构高度修整系统包括:基座;水平回转工作台,安装在所述基座上,所述水平回转工作台的中心设有一个转轴,并可绕该转轴水平自转;支撑镜框,固定安装在所述水平回转工作台上,所述支撑镜框的中心位于所述转轴上,并随所述回转工作台一起水平自转;装有金刚石刀具的椭圆振动刀头,设置在一支撑运动机构上,可沿水平及垂直方向移动;所述多个柔性支撑结构通过固定平台固定设置在所述支撑镜框上,并相对于所述支撑镜框中心的圆周上均匀布置,每个柔性支撑结构的支撑面超向所述刀头,且每个支撑面上对应相同的点位于同一圆上,圆心即为支撑镜框的中心;所述装有金刚石刀具的椭圆振动刀头,与所述其中一个支撑面相对设置还包括一个控制系统,控制所述水平回转工作台及支撑运动机构的工作。
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