[发明专利]酸不稳定超支化共聚物和相关联的光致抗蚀剂组合物以及形成电子器件的方法

摘要

酸不稳定超支化共聚物通过共聚合包括双官能单体和单(甲基)丙烯酸酯的单体形成。所述双官能单体包括使所述共聚物酸不稳定的至少一个缩甲醛基团、缩醛基团或缩酮基团。所述共聚物适用作提供除了其它期望的光微影特性外的低线宽粗糙度的光致抗蚀剂组合物的组分。

主权项

1.一种酸不稳定超支化共聚物，其包含共聚合单体的产物，所述单体包含具有以下结构的酸不稳定双官能单体其中R1在每次出现时独立地为氢、氟、甲基、三氟甲基或氰基；R2和R3在每次出现时独立地为氢、未经取代或经取代的C1‑18直链或支链烷基、未经取代或经取代的C3‑18环烷基、未经取代或经取代的C6‑18芳基，或未经取代或经取代的C3‑18杂芳基，并且R2和R3不共价连接，或彼此共价连接以形成包括—R2—C—R3—的环；L1、L2和L3在每次出现时独立地为未经取代或经取代的C1‑8亚烷基、未经取代或经取代的‑C(＝O)‑C1‑8亚烷基、未经取代或经取代的‑C(＝O)‑(C1‑8亚烷基)‑C(＝O)‑、未经取代或经取代的‑(C1‑8亚烷基)‑O‑(C1‑8亚烷基)‑、未经取代或经取代的‑C(＝O)‑(C1‑8亚烷基)‑O‑(C1‑8亚烷基)‑，或未经取代或经取代的‑C(＝O)‑(C1‑8亚烷基)‑O‑(C1‑8亚烷基)‑C(＝O)‑；X在每次出现时独立地为1,2‑亚苯基、1,3‑亚苯基、1,4‑亚苯基或‑C(＝O)‑O‑，其中所述羰基碳键结到自身键结到R1的相邻碳原子；并且x为1、2或3；以及单(甲基)丙烯酸酯，其包含碱溶解度增强单(甲基)丙烯酸酯、酸不稳定单(甲基)丙烯酸酯、光酸产生单(甲基)丙烯酸酯，或其组合以形成共聚物。